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半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中露點(diǎn)儀的選擇
更新時(shí)間:2023-08-25  |  點(diǎn)擊率:707

  背景:

  半導(dǎo)體芯片對(duì)現(xiàn)代社會(huì)的重要性不言而喻,是支持5G,物聯(lián)網(wǎng),AI,自動(dòng)駕駛汽車,智能穿戴等市場(chǎng)發(fā)展的關(guān)鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密,制造工藝要求也越來(lái)越精細(xì),更嚴(yán)格的規(guī)范和生產(chǎn)誤差。反過(guò)來(lái),這將更加依賴于監(jiān)測(cè)和控制工藝條件的傳感器和儀器性能,盡可能降低減產(chǎn)或整批晶圓報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。

  被稱為半導(dǎo)體“血液"的電子氣體是芯片制造業(yè)的良好選擇,它參與蝕刻、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入等各個(gè)環(huán)節(jié)。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等,隨著芯片制造工藝的小型化,半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)電子氣體的純度提出了更高的要求。相關(guān)文章見(jiàn)電子氣體純度監(jiān)測(cè)。

  氣體中的露點(diǎn)測(cè)量是一個(gè)挑戰(zhàn),以99.9999%的高純氮?dú)鉃槔?,其水分含量低?ppm,也就是100萬(wàn)個(gè)氣體分子中,不到1個(gè)水分子。如此微量的水分子含量,對(duì)濕度傳感器的靈敏度和準(zhǔn)確性都是一個(gè)真正的考驗(yàn)。在過(guò)往,高精度的水分儀往往伴隨著高成本,而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開(kāi)發(fā),在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

  金屬氧化物陶瓷濕度傳感器:

  密析爾研發(fā)的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù),借鑒半導(dǎo)體領(lǐng)域的厚薄膜技術(shù),把整個(gè)傳感器構(gòu)建在堅(jiān)固穩(wěn)定的陶瓷基座上。基于多孔感濕層對(duì)水分子的吸收,通過(guò)感受水氣分壓得出(工況下)水露點(diǎn)值。該吸濕活性層如同“三明治"一樣被夾在陶瓷基底上的兩個(gè)導(dǎo)電層之間,厚度僅不到一微米,而頂部金箔層只允許水分子自由進(jìn)入傳感器,且與多孔導(dǎo)電層相比更薄。因此,當(dāng)周圍環(huán)境的濕度發(fā)生變化的時(shí)候,傳感器對(duì)濕度變化會(huì)有非常靈敏的反應(yīng)。它能夠檢測(cè)超高純度氣體中低至百萬(wàn)分之幾的微量水分含量。

  高純氣體露點(diǎn)變送器:

  基于金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù),密析爾推出了應(yīng)用于不同環(huán)境的水分儀。今年推出的新品Pura Advanced Online 2高純氣體露點(diǎn)變送器對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)商來(lái)說(shuō)是一個(gè)不錯(cuò)的選擇,可以在化學(xué)氣相沉積、蝕刻等生產(chǎn)過(guò)程中監(jiān)測(cè)露點(diǎn)。

  Pura具有很好的穩(wěn)定性和重復(fù)性,可以測(cè)量低至-120°Cdp,在-60°Cdp時(shí)精度為±1°C,對(duì)過(guò)程環(huán)境的變化可以快速響應(yīng)。此外,新傳感器還提供本安版本,具有ATEX,UKCA和IECEx認(rèn)證。

  根據(jù)客戶的應(yīng)用要求和預(yù)算,Pura高純氣體露點(diǎn)變送器可配先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)的顯示表。

  隨著芯片變得越來(lái)越小和更加精密,選擇能夠保證一致的生產(chǎn)環(huán)境,符合嚴(yán)格工藝流程的儀器很關(guān)鍵。Pura Advanced Online 2等儀器能夠幫助廠商滿足日益嚴(yán)苛的要求。

 

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